例如在大規(guī)模集成電路生產(Produce)的光刻曝光（exposure)工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅(silicon)片的熱膨脹(inflate)系數的差要求越來越小。凈化車間凈化車間材料是凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強、保溫性能好、易施工。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。直徑100 um的硅(silicon)片，溫度（temperature)上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉(Sodium)的半導體(semiconductor)車間，這種凈化車間不宜超過25度?！穸冗^高產生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻(cooling)水管壁上會結露，如果發(fā)生在精密(precise)裝置或電路中，就會引起各種事故，相對濕度在50%時易生銹。
然而對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓），凈化車間壓力差的維持一般應符合以下原則：
1.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。潔凈室車間凈化工作原理為當控制器接通電源時，油霧分離器口產生強大的靜壓迫使油霧被定向吸入油霧分離器內。在油霧分離器內風輪的作用下發(fā)生碰撞，使微小的顆粒集合成能被控制的小顆粒，在高效吸霧材料的阻擋下實現空氣與水的分離。
2.相通凈化車間之間的門要開向潔凈度級別高的房間。
3凈化車間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。凈化車間凈化車間材料是凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強、保溫性能好、易施工。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。
壓力差的維持依靠新風量(定義:單位時間內空氣的流通量)，這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透（Osmosis)）風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。
在生物制藥GMP凈化領域發(fā)展多年，實施了一系列GMP凈化車間，對于一些高難度（difficulty)的項目也通過過硬的技術實力和訓練有素的施工隊伍完美完成。
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